感(gan)應熔(rong)煉
的步驟(zhou)有用(yong)前檢(jian)查單晶爐(lu)、試用單晶爐、單(dan)晶爐正式工作(zuo)、熔煉(lian)産品抽檢、調整測試、使用(yong)單晶(jing)爐(lu)完成後安全斷電(dian),這些(xie)步驟都不可(ke)以省略。
在感(gan)應熔(rong)煉之(zhi)前應當檢(jian)查好(hao)設(she)備,看看(kan)有沒有明顯損(sun)壞的零部件,然(ran)後根據說明書(shu)的要求來(lai)操作試用(yong),如果經過試用工作(zuo)正常(chang),就可以開始正(zheng)式生産了(le),但是生産(chan)的過程中(zhong)也要(yao)不斷地檢查下(xia)産(chan)品,看産(chan)品的某些指标(biao)是否達标,産品(pin)質量是否合格,如果指(zhi)标不達(da)标、質(zhi)量(liang)不(bu)合格(ge)就要(yao)調整下機(ji)器,直到熔(rong)煉的(de)産品的品(pin)質達(da)到要求爲止。
常見(jian)的單(dan)晶(jing)爐故障有晶(jing)棒晃動,單(dan)晶爐晶(jing)棒(bang)晃動機器(qi)仍(reng)然可以(yi)正常運轉,但是(shi)生産效率低,感(gan)應熔煉的(de)産品(pin)質量(liang)差所以爲了提高感應熔煉的效率和質(zhi)量,不能盲目的熔煉(lian),一定要對(dui)單晶爐進(jin)行檢(jian)查。晶棒晃動要(yao)檢(jian)查一(yi)下(xia)提拉(la)頭、冷卻系統和真空系(xi)統(tong)。如果(guo)是提(ti)拉頭(tou)出現問題(ti),就要維修調整(zheng)下減速機(ji)構或(huo)旋(xuan)轉機構(gou)。如果是冷卻系(xi)統和真空系統出現問(wen)題,需要(yao)調整一下矽料(liao)和重錘結構。如(ru)果檢查這(zhe)些地(di)方沒(mei)有(you)問題,看(kan)一下(xia)氩氣(qi)等惰性氣體是否在(zai)爐内流動(dong),氩(ya)氣(qi)在爐内流(liu)動的(de)話,就需(xu)要改裝一下(xia)單晶爐了(le),保證單(dan)晶爐熱(re)場分布均勻(yun)。
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