直拉(la)式單晶(jing)爐是采(cai)用直拉(la)法（m3）生産(chan)無位錯矽單晶的(de)重要(yao)設備，目前世界(jie)上80%以(yi)上的矽單(dan)晶錠的生(sheng)産采用直拉(la)式矽單(dan)晶爐"随着集成(cheng)電路産業的發(fa)展，對設備(bei)要求(qiu)裝料量大于250kg,拉(la)制矽(xi)單(dan)晶直徑(jing)大于(yu)300mm(12英(ying)寸)，因此(ci)晶體的生(sheng)長時(shi)間長(zhang)，通常大于(yu)50h，對設備(bei)的穩定性要(yao)求(qiu)高，而設(she)備的結構(gou)是設備的基礎，其設(she)備的結構(gou)和穩(wen)定性對(dui)整個晶(jing)體生長拉晶過(guo)程有重要的影(ying)響"直(zhi)拉式(shi)單(dan)晶爐結構(gou)的(de)靜力分析(xi)是(shi)整(zheng)個結構分(fen)析的基礎(chu)。目(mu)前最常用也(ye)最有(you)效(xiao)的結構(gou)分析方(fang)法就是(shi)仿真(zhen)，通過模拟實際工作環境(jing)，了解可能出現(xian)的結構問題，從(cong)而進行改(gai)進。而(er)有限元等數值(zhi)分析理(li)論與計算(suan)機結合，出現(xian)了一大(da)批(pi)可以進行各方面仿(pang)真的(de)大型軟件，它們爲(wei)設(she)計階(jie)段(duan)進行模拟仿(pang)真提供軟件支(zhi)持。在進(jin)行結構(gou)分析和(he)設計中(zhong)，很多時候需要(yao)具體部(bu)位的宏(hong)觀載荷值"通(tong)過實驗的(de)方(fang)法獲取的宏(hong)觀力較爲準确，但在受到條(tiao)件限制而(er)無法通過實(shi)驗(yan)測出宏觀力時(shi)，往往根據材料(liao)力學方(fang)法，采用(yong)估算的(de)方式，将(jiang)載荷(he)平均(jun)或(huo)按(an)一定經驗(yan)分配(pei)來獲得近似結(jie)果，導緻誤差較大。本文通(tong)過仿(pang)真分析的方法(fa)對直(zhi)拉(la)式(shi)單晶(jing)爐部件(jian)進行結構分(fen)析，采(cai)用有(you)限(xian)元法的件分(fen)析獲(huo)得微觀的(de)應力分布(bu)，根據微觀應(ying)力與宏(hong)觀載荷間的關(guan)系，從微觀應力(li)理論上準确的(de)計算(suan)出宏觀載(zai)荷"。

    直拉式(shi)單晶(jing)爐的(de)基本結構(gou)由機架和爐室(shi)兩大部分組成(cheng)，機架作爲(wei)設備(bei)的主(zhu)體(ti)支撐部(bu)分，其結構性能(neng)十分重要(yao)。本文(wen)以直(zhi)拉式單晶(jing)爐爲(wei)研(yan)究對象(xiang)，建立了(le)機(ji)架部(bu)分的有限元模(mo)型，采用軟件對(dui)其進(jin)行靜力分(fen)析，同時利用該(gai)分析結(jie)果和軟(ruan)件提供的(de)強大後處理功(gong)能，從(cong)微觀應力(li)分布中提取計(ji)算出(chu)底座(zuo)下各(ge)墊鐵的宏(hong)觀(guan)載荷情(qing)況(kuang)，對(dui)單晶爐靜(jing)态特性進行判(pan)定，爲改善其結構性(xing)能(neng)提(ti)供了依據。