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定向凝(ning)固提純(chun)技術在去除金屬雜質(zhi)的應用

[2014/7/16]

    冶金法(fa)制備多晶(jing)矽就(jiu)是(shi)定(ding)向凝固提(ti)純技(ji)術在去除(chu)金屬(shu)雜質(zhi)方面的典型應(ying)用,而定向(xiang)凝固提純(chun) 技術也(ye)是(shi)冶金(jin)法提純(chun)矽材料(liao)的關(guan)鍵工藝。關(guan)于定(ding)向凝固技(ji)術制備多(duo)晶矽技術,專家學者(zhe)做了大量研究工作,尤其(qi),近幾(ji)年國内高校昆明理(li)工大學、大(da)連(lian)理(li)工大(da)學、太(tai)原理工(gong)大學等(deng)在定向(xiang)凝(ning)固技(ji)術制備多晶矽方面做了(le)大量實驗(yan),得出(chu)很多(duo)有用結論(lun)。

    morita等人(ren)提出(chu),冶金級矽中金屬雜(za)質經(jing)過2次(ci)定向凝固(gu)提純, 完全(quan)可以(yi)達到太(tai)陽能級(ji)多晶(jing)矽要求[30]。rannveig kvande 等通過(guo)慢(man)冷和快(kuai)冷快速定(ding)向凝(ning)固對(dui)比實(shi)驗, 測(ce)量出碳的含(han)量在2個試塊(kuai)中的含量分布(bu)基本(ben)一樣(yang),慢(man)冷的氧(yang)含量比(bi)快(kuai)冷高(gao)。pires等利用電(dian)子(zi)束(shu)熔煉法, 獲(huo)得了5n的太陽能級多(duo)晶矽(xi),得出了矽(xi)錠下部和(he)邊緣(yuan)雜質(zhi)的含量較(jiao)低,上部和(he)中間(jian)雜質含量較高(gao)的結論。chandra p khattak 等利用(yong)真空氧化和定向凝固2步工藝提純(chun)工業(ye)矽,結果表明(ming),大部分(fen)的金(jin)屬(shu)雜質含量還(hai)是很高,雖(sui)然部分金(jin)屬雜(za)質去除效(xiao)果理(li)想,但(dan)還(hai)是(shi)達不(bu)到太(tai)陽能(neng)級多(duo)晶矽的要求。

    昆(kun)明理(li)工大(da)學(xue)的(de)戴永年教(jiao)授等(deng)人利用(yong)定向凝(ning)固技術(shu)去除工(gong)業(ye)矽中的雜質(zhi)鋁,結(jie)果(guo)表(biao)明,定向凝固提(ti)純法(fa)除鋁的去除率可達(da)98.6%,這說(shuo)明定(ding)向凝固提(ti)純法(fa)去除鋁是可(ke)行(hang)的,但不能去除(chu)晶界(jie)處(chu)富集的(de)鋁雜(za)質。吳(wu)亞萍(ping)等(deng)對真空感應(ying)熔煉和定(ding)向凝固研究, 結果表(biao)明定向(xiang)凝固提純 技(ji)術可以去(qu)除工業矽(xi)中平(ping)衡系數小于1 的(de)金屬(shu)雜質,但對不同(tong)雜(za)質去除(chu)的程度不(bu)同。liu等(deng)通過研(yan)究鐵随(sui)時間和溫度變化的(de)分布情況(kuang), 得出多晶矽鑄(zhu)錠中(zhong)的碳濃度(du)以及碳化(hua)矽沉(chen)澱相的分布。 

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